半導(dǎo)體廢氣處理

 

一、半導(dǎo)廢氣處理成份

 

半導(dǎo)體職業(yè)廢氣主要成分為有機(jī)廢氣和酸堿廢氣兩類。有機(jī)類成分：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等，酸堿類成分：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。

 

二、職業(yè)排放規(guī)范

 

三、半導(dǎo)體廢氣處理方法

 

一般半導(dǎo)體職業(yè)針對廢氣處理的解決方案如下：

 

(1)預(yù)處理階段：采用噴淋塔先對廢進(jìn)行預(yù)處理，去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。

 

(2)主要處理階段：在此階段，比較常見而有用方法有：UV光解，生物過濾分解，焚燒和催化燃燒等。